小尺寸涂布机适用于基材尺寸在200*200~400*400mm范围内钙钛矿薄膜电池、有机太阳能电池、PI膜、光学膜等亚微米级功能性涂层的实验室研发,工艺探索等过程。设备具备Z轴自动升降、模头自动清洗、预涂、Gap值监控、风刀及微负压洁净环境等功能。
外形尺寸 | 1200*1150*2100mm(带护罩) |
电源电压 | 单相电压AC220V±10% ;频率:50HZ |
涂布区域 | 200*200mm(可根据需求定制) |
浆料粘度 | 1-100cps |
涂布速度 | 1-5m/min(根据浆料性质而定) |
干膜厚度 | 0.05-10um(根据浆料性质而定) |
上料泵精度 | ±1%全量程;重复精度:≤0.05%全量程 |
膜厚不均匀性 | ≤±3% |
四周不均匀区域 | ≤10mm(根据浆料性质而定) |
风刀风速均匀性 | ≤5% |
1、运动模块采用高精度气浮轴承和大理石平台,保证涂布精度;
2、双Z轴解耦设计,涂布刀头两侧独立调节高度,保证刀头平行度;
3、高精度Gap监测,采用高分辨率接触式位移传感器和激光位移传感器;
4、高精度注射泵供料系统,精确供料,减少溶液浪费;
5、涂布刀头采用高精度流体仿真型腔设计,可根据客户溶液性质定制刀头;
6、集成高均匀性风刀,根据工艺需求对涂膜进行不同风温要求的预干燥,保证成膜质量;
7、操作简单,可自定义配方及涂布参数,工艺研究灵活方便;
8、根据客户需求,可配置FFU微负压洁净环境;
9、采用集成式设计,设备调试维护方便;
10、可根据客户需求,支持定制化方案。