尺寸外观 | 4950mm*2600mm*2500m |
兼容极片 | 宽度:45-200mm;卷径:700mm |
兼容材料 | 石墨负极 ; 掺硅石墨负极 |
加工精度 | 线深:±5um;线宽:±10%:;线间距 : ±100um |
激光模组 | 水冷-cw;2000w±2%: 1064±25nm: M2<1.2; 准直&聚焦: f125&f350 振镜速度 :200rad/s |
除尘模组 | 风刀 + 吸尘+全包除尘腔室 + 毛刷除尘 + 超声除尘 |
纠偏模组 | 纠偏精度0.1mm; 纠偏行程40mm |
检测系统 | CCD 在线检测; 3D 扫描在线检测 |
2、加工精度高,流水线速度快,最高能达到25m/min加工流水线速度;
3、多方位除尘系统,能有效去除加工过程中产生的粉尘,金属颗粒等,工位除尘模拟效率达99.6%;
4、能实现各类不良检测,来料贴标检测;能在线实时监测刻蚀精度并同步上传mes系统。