UTG激光加工系统

UTG激光加工系统

设备介绍

本设备为UTG激光加工系统,主要用于对超薄玻璃(UTG)的边缘倒角磨边,设备通过真空陶瓷吸盘对玻璃进行定位吸附,经过CCD相机建立抓取视觉画面,采用亚微米级运动平台保持玻璃运动的均匀,确保激光加工的精度;设系统采用超快激光器,在微小范围内产生瞬时超高温使材料激发为等离子态从加工区域飞逸,从而达到材料去除的目的。


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技术参数

尺寸外观

2384mm*1820mm*2100m

产品尺寸

长宽可定制(Max:281.6mm×215.5mm),厚度Min:30um

产品材料

UTG

加工精度

±5um

激光模组

343nm紫外飞秒激光器+ SCANLAB振镜+Sill场镜

视觉模组

采用高像素CCD相机,视觉场域:1.3mmx1.1mm,定位精度±2um

运动模组

直线电机+纳米级光栅尺+ACS控制,重复运动精度±0.5um

功能特点

1、减震大理石机台,直线电机的运动模块,确保了产品磨边的的质量,去除微裂纹;

2、设备控制系统独立开发,独有的控制方式保证不论运动平台以什么样的速度运行,激光脉冲能量恒定;

3、特有的真空吸附平台,避免了超薄玻璃在加工过程中出现挠度,确保加工精度;

4、自主设计的光路体系,确保光束的大小和准直,保证了振镜的工作。