真空干燥VCD

真空干燥VCD

设备介绍

主要用于成膜领域,通过形成的真空环境实现溶剂的挥发,辅助更好的成膜。

技术参数
玻璃尺寸300*300*3600*1200*31200*2400*3
真空腔体尺寸(mm)400*390*1001900*1300*1582500*1300*158
工作真空10s/10Pa10S/10pa10S/10pa
抽真空口数123
破真空口数122
抽气速度75L/s610L/s958L/s
机械泵数量133
破真空气体干燥空气/氮气


功能特点

1、一体式高密封腔体设计,腔室泄露率满足真空度要求(与腔室容积及材料放气量相关);

2、抽速可调,可根据工艺要求调整压力下降曲线;

3、快速抽气能力,可根据客户要求,设计抽真空速率;

4、真空腔室压力稳定性≤5%;

5、支持产品规格从实验室级到量产级全尺寸。