尺寸外观 | 长:5米 | 宽:4米 | 高:2.7m | 重:11吨 | 颜色:国际标准暖灰 |
兼容极片 | 宽度:45-200mm | 最大卷径:700mm | 兼容材料:石墨负极;掺硅石墨负极 | ||
加工精度 | 线深:±5um | 线宽:±10% | 线间距:±100um | HAZ<50um | |
激光模组 | 模式:连续水冷 | 功率:2000w±2% | 波长:1064±2.5nm | 光束质量M2:≤1.2 | 光路配置:f125,f350 |
除尘模组 | 风刀18m/s | 吸尘 | 毛刷:45根/mm2 | 超声波除尘 | |
纠偏模组 | 纠偏精度:±0.1mm | 纠偏行程:±40mm | |||
检测系统 | CCD在线全检 | 3D扫描在线抽检 |
2、加工精度高,流水线速度快,最高能达到25m/min加工流水线速度;
3、多方位除尘系统,能有效去除加工过程中产生的粉尘,金属颗粒等,工位除尘模拟效率达99.6%;
4、能实现各类不良检测,来料贴标检测;能在线实时监测刻蚀精度并同步上传mes系统。